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上海伯东 KRI 考夫曼离子源 KDC 100

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后更新时间:2022-05-12
人气值 8
品牌:
KRI
 
 
 
售后服务:由伯东企业(上海)有限公司从上海浦东新区发货,并提供售后服务
  • ###格货期电议


    上海伯东代理美国原装进口 KRI 考夫曼离子源 KDC 100 中型规格栅极离子源, 广泛加装在薄膜沉积大批量生产设备中, 考夫曼离子源 KDC 100 采用双阴极灯丝和自对准栅极, 标准配置下离子能量范围 100 1200ev, 离子电流可以超过 400 mA.

    KRI 考夫曼离子源 KDC 100 技术参数:

    型号

    KDC 100

    供电

    DC magnetic confinement

     - 阴极灯丝

    2

     - 阳极电压

    0-100V DC

    电子束

    OptiBeam?

     - 栅极

    专用, 自对准

     -栅极直径

    12 cm

    中和器

    灯丝

    电源控制

    KSC 1212

    配置

    -

     - 阴极中和器

    Filament, Sidewinder Filament  LFN 2000

     - 安装

    移动或快速法兰

     - 高度

    9.25'

     - 直径

    7.6'

     - 离子束

    聚焦

    平行

    散设

     -加工材料

    金属

    电介质

    半导体

     -工艺气体

    惰性

    活性

    混合

     -安装距离

    8-36”

     - 自动控制

    控制4种气体

    * 可选: 可调角度的支架

    KRI 考夫曼离子源 KDC 100 应用领域:

    溅镀和蒸发镀膜 PC

    辅助镀膜(光学镀膜)IBAD

    表面改性, 激活 SM

    离子溅射沉积和多层结构 IBSD

    离子蚀刻 IBE


    1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源, 霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专利. KRi 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.

    若您需要进一步的了解产品详细信息或讨论, 请联络上海伯东邓女士, 分机134


  • 位于中国上海浦东外高桥保税区的伯东企业(上海)有限公司创建于1995年12月,是日本伯东株式会社独资设立的外商投资企业,公司注册资金为800万美元。    本公司主要是一家以经营电子接插件、线束、电线以及机械设备、真空产品等精密仪器、设备的维修,以及以半导体制造装置、基板制造装置、电脑软件为主的国际贸易、转口贸易及保税区企业间贸易及保税区贸易代理、贸易及相关技术咨询的公司。 公司一直坚持品质一、信誉至上的原则,为广大客户提供了高品质的产品以及良好的售后服务。到目前为止已先后通过了美国UL安全认证、 ISO9001-2000质量体系认证、ISO14001-1996环境体系认证。公司将在今后的发展中秉承以人为本,不断开拓进取的精神,为满足客户的需求努力向专业化、优质化、集团化发展。
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